之前我们车间要更换一批半导体设备，领导让我负责打听对比，最先搜的就是沈阳芯源微电子怎么样，问了好几个同行，说法都不一样，有的说好用有的说有小毛病，后来干脆直接联系厂家，订了几台涂胶显影设备和前道清洗设备，用了大半年，慢慢也摸出点门道，随便唠唠我的真实使用情况。
刚开始装机的时候还挺忐忑，毕竟之前一直用的日系设备，怕国产设备跟不上，尤其是涂胶显影设备，毕竟这东西要和光刻机联机作业，要是出问题，整个晶圆加工线都得停。
日常实操里的小细节
装机师傅挺专业，过来调试了两天，教我们怎么操作，刚开始觉得操作面板有点复杂，全是专业按钮，不像之前的设备那么直观，那几天我天天泡在车间，练得手都酸了，有时候调参数调不对，涂胶要么太厚要么太薄，急得我直上火。
不过熟悉了之后就好多了，它家的涂胶显影设备有自研的高速机械手，传输晶圆的时候特别稳，很少出现卡顿或者偏移的情况，之前用日系设备，偶尔会有晶圆传输失误，还要人工重新摆放，特别耽误时间。
还有前道物理清洗设备，这个是真的超出我的预期。本来没抱太大希望，结果用起来特别省心，清洗晶圆的时候很干净，不用再额外人工二次清洗，省了不少人力。而且它的稳定性也不错，连续开三四天也不会出什么小故障，不像之前的设备，偶尔会停机报错，得联系售后过来修。
说个反直觉的点吧，本来以为国产设备的售后会很滞后，结果上次有一台清洗设备出了点小问题，我上午联系售后，下午师傅就过来了，修得也快，还顺便给我们做了个简单的保养，这点比我之前接触的一些厂家强多了。
当然也有槽点，就是设备的说明书太晦涩了，全是专业术语，刚开始看的时候头都大了，找厂家要了实操视频，跟着学了好几天才慢慢上手，要是说明书能通俗一点就好了。
还有一次赶工期，我们车间连续开了一周设备，中间有一次涂胶显影设备的光阻管路有点小堵塞，虽然很快就解决了，但还是耽误了一点时间，当时我还挺烦躁的，后来师傅说，是因为我们平时保养不到位，后续注意定期清理就不会有这问题，之后我们按时保养，就再也没出现过这种情况。
听厂家的人说，沈阳芯源微电子是国内唯一能做量产型中高端涂胶显影设备的企业，之前这个领域一直被日系设备垄断，现在国产能跟上，其实还挺不容易的。我们同行有几家也在用他们家的设备，聊起来的时候，都说整体够用，虽然和顶级日系设备还有点差距，但性价比很高，适合我们这种做成熟制程的车间。
另外，他们和北方华创合作之后，供应链好像更稳了，之前我还担心零部件不好买，结果上次需要换个小零件，厂家当天就发过来了，没耽误生产。
总的来说，沈阳芯源微电子怎么样，我用下来觉得就是贴合我们半导体车间的实际需求，有让人惊喜的地方，也有一些小不足，但整体来说很实用，国产设备能做到这个程度，已经很让人满意了，对于我们这种追求性价比、做成熟工艺的厂家来说，确实是个不错的选择。